王俊博士PW22-LASE报告全文 | 6"晶圆高功率半导体激光芯片量产线

作者：

EverBright

来源：

长光华芯

2022/03/31

【摘要】：

长光华芯建立了一条高质量和高产量的6"高功率激光芯片生产线。报道了MOCVD外延和晶圆制造中的关键参数，展示出了高均匀性和可重复性。这条生产线每月可生产数百万个边发射高功率激光芯片。