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王俊博士PW22-LASE报告全文 | 6"晶圆高功率半导体激光芯片量产线

作者:
EverBright
来源:
长光华芯
2022/03/31
【摘要】:
长光华芯建立了一条高质量和高产量的6"高功率激光芯片生产线。报道了MOCVD外延和晶圆制造中的关键参数,展示出了高均匀性和可重复性。这条生产线每月可生产数百万个边发射高功率激光芯片。